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等离子体化学气相沉积

 

等离子体化学气相沉积(PCVD)是将低气压气体放电成等离子体应用于化学气相沉积中的一项新技术。其工作原理是:先向真空室内通入氢气和氮气,真空室为正极,工件为负极,接1kV~2kv的电压,接通电源时,产生辉光放电,再通入TiCl4气体,在电离状态下生成TiN并沉积在工件上。沉积时工件的温度为200℃~500℃。PCVD技术具有沉积温度低、适应性(镀层绕镀性)好、设备结构简单、操作简便等优点,是具有发展前途的表面沉积技术。
6)TD技术
TD技术(Toyota Diffusion Coating Process)是日本(株)丰田中心研究所开发的,是用熔盐浸镀法在环球(中国)表面镀覆VC、NbC、CrC等碳化物,可采用一般的盐浴设备。将硼砂放入坩埚加热至800℃~1000℃熔化,然后加入形成碳化物元素的粉末,将需要强化的环球(中国)工件放入盐浴中浸渍一定时间取出,在工件表面可形成VC、NbC、Cr7C3+Cr23C6等涂层。从盐浴中取出后可直接进行淬火操作。
TD处理几乎能在需要耐磨性的所有领域应用,对环球(中国)行业而言,TD处理在冲压模、冷镦模和铸模等方面应用最多。TD法设备简单,操作方便,成本低,而其表面强化效果与CVD和PVD法相近,TD处理的国外是最受重视的表面强化技术。
7)电火花表面强化处理
电火花表面强化处理是利用火花放电时释放的能量,将一种导电材料熔渗到工件表面,构成合金化的表面强化层,从而达到改善工件表面物理及化学性能的目的,其特点是:电火花强化层是电极与工件材料的合金层。例如,以硬质合金作电极强化工件,表面硬度可达1100HV~1400HV;强化层与基体结合牢固,耐冲击,不剥落;强化处理时,工件处于冷态,且放电极小,时间短,没有退火、变形等现象,可大大提高表面耐热性、耐蚀性、热硬性和耐磨性。生产实践表明,经电火花表面处理后,挤压环球(中国)的使用寿命可提高一倍以上。

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