真空度分为低真空、中真空、高真空。低真空容器内的残余气体类似于空气的气体组分，中真空状态时，原始空气比例减少，而以各种材料放出的气体为主。中、高真空加热的实质是一种可控气氛保护加热。
真空炉残余气体在加热过程中有很大的变化。如果吧真空度与相对杂质量看做等价，并把相对杂质量全部认为是水蒸气，则得出真空度与露点之间的关系，那么可以推导出两者之间的数量关系。
在一定体积内，压力与分子数目成正比。一个标准大气压下，1.033×105Pa∶n=Y∶X，其中n为标准大气压下的分子数目，X为Y压力下的分子数，把这些气体都当做杂质对待。假设Y压力下的相对杂质为Z，则：
Z=×100%
通常保护气氛炉种，露点在-30~-60℃之间，这相当于真空度60~1Pa。保护气氛炉达到这个露点已经是比较高的要求了，而对真空炉则是比较容易得事情。利用这个关系可以确定加热的真空度。
